 |
風淋室專題 佰倫風淋室已榮獲多項國家專利! |
 |
服務熱線：蘇小姐 181-02663890 黃先生 135-70963007 |
產品分類
聯系我們
- 蘇小姐：181-02663890
- 黃先生：135-70963007
半導體行業凈化解決方案
晶圓設備，微粒過濾和控制AMC是必須的。微粒過濾和控制AMC是高收益、低退貨率的半導體產業首要擔心的問題。不能很好的在潔凈室或設備中控制微粒或AMC將大大的削弱企業的經營利潤。潔凈室的主要的問題是產品、工具、加工過程和氣味控制的污染。
傳統的通風形式是在車間的整個天花板上布滿高效過濾器，整個地面為回風柵板。如今我公司生產的FFU 使用自帶風機的過濾裝置，解決了繁復的安裝和性價比問題，是目前市場上一種安靜、價格優良的機組，為潔凈室輸送高質量的循環空氣。
|
污染物 |
來源 |
引發問題 |
解決方案 |
|
粉塵 |
空氣 |
造成集成電路斷路、短路，影響成品率 |
化學過濾模塊+普通、高效過濾器/FFU |
|
NH3，NMP |
外氣 |
“T-top“現象 |
化學過濾模塊 |
部分成交客戶
| 上一篇：高效空氣過濾器-H13高效過濾器 | 下一篇：平板顯示凈化解決方案 |
